RGA 系列殘余氣體分析儀

簡要描述：RGA 系列殘余氣體分析儀

SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供卓*的性能和價值。這些 RGA 提供真空系統(tǒng)的詳細氣體分析，價格僅為競爭型號的一半。每個 RGA 系統(tǒng)都配有一個四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個用于數(shù)據(jù)采集和分析以及探頭控制的實時 Windows 軟件包。

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廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
更新時間：2025-07-14
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品牌	其他品牌	應(yīng)用領(lǐng)域	化工,地礦,能源,航空航天,電氣

RGA 系列殘余氣體分析儀

SRS 的 100、200 和 300 amu 殘余氣體分析儀提供卓*的性能和價值。這些 RGA 提供真空系統(tǒng)的詳細氣體分析，價格僅為競爭型號的一半。每個 RGA 系統(tǒng)都配有一個四極桿探頭、電子控制單元 (ECU) 和一個用于數(shù)據(jù)采集和分析以及探頭控制的實時 Windows 軟件包。

堅固的探頭設(shè)計

電子倍增器

探頭由離子發(fā)生器、四極濾質(zhì)器和檢測器組成。簡單的設(shè)計具有少量零件，可*大限度地減少放氣并減少將雜質(zhì)引入真空系統(tǒng)的機會。探頭組件堅固耐用，可安裝在標準2 ? 英寸CF 法蘭上。它被不銹鋼管覆蓋，但離子發(fā)生器除外，它在您的真空系統(tǒng)中只需要 2 ? 英寸的間隙——大約是標準離子計的間隙。探頭采用自對準部件設(shè)計，因此可以在清潔后輕松重新組裝。

緊湊型電子控制單元

密集封裝的 ECU 包含用于控制 RGA 頭的所有必要電子設(shè)備。它由外部 +24 VDC (2.5 A) 電源或插入交流電源插座的可選內(nèi)置電源模塊供電。LED 指示燈提供有關(guān)電子倍增器、燈絲、電子系統(tǒng)和探頭狀態(tài)的即時反饋。ECU 可以很容易地從探頭上拆下，以進行高溫烘烤。

*特的燈絲設(shè)計

長壽命的雙釷銥 (ThO 2 /Ir) 燈絲用于電子發(fā)射。雙 ThO 2 /Ir燈絲的使用壽命比單燈絲長得多，從而*大限度地延長了燈絲更換之間的時間。與其他設(shè)計不同，SRS 燈絲可以在幾分鐘內(nèi)由用戶更換。

雙釷銥絲

電子倍增器

法拉第杯探測器是 SRS RGA 系統(tǒng)的標準配置，可以測量10 -5到 5 × 10 -11 Torr的分壓。為了提高靈敏度和更快的掃描速率，提供了一個可選的電子倍增器，可檢測低至5 × 10 -14 Torr的分壓。這種**的宏多通道連續(xù)打拿極電子倍增器 (CDEM) 提供更長的壽命和穩(wěn)定性，并且也可以由用戶更換 - 這是 RGA 的開創(chuàng)！

加熱套

O100HJRW 加熱器護套配有 Watlow EHG SL10 過程控制器，可提供 210 °C (±3 °C) 的預(yù)編程溫度。加熱器護套采用 PTFE (Teflon) 結(jié)構(gòu)制成，由于其低釋氣和無顆粒操作，適用于潔凈室應(yīng)用。O100HJRW 提供 120 VAC 和 220 VAC 版本，并隨附目的地國家/地區(qū)的電源線。

加熱套

有用的功能

所有 RGA 都具有內(nèi)置的脫氣功能。使用電子沖擊解吸，*底清潔離子源，大大降低了離子發(fā)生器對背景噪聲的影響。

固件驅(qū)動的燈絲保護功能持續(xù)監(jiān)控（675 Hz）過壓。如果檢測到過壓，燈絲會立即關(guān)閉，以保持其使用壽命。

*特的溫度補償對數(shù)靜電計在單次掃描中檢測10 -7至 10 -15 安培的離子電流，精度優(yōu)于 2%。這個巨大的動態(tài)范圍意味著您可以同時測量小氣體濃度和大氣體濃度。

*全可編程性

通過RS-232接口與計算機進行通信。模擬和直方圖（條形圖）掃描、泄漏檢測和探頭參數(shù)都通過上等命令集進行控制和監(jiān)控。這允許輕松集成到現(xiàn)有程序中。

RGA 視窗軟件

壓力與時間模式

RGA 系統(tǒng)由在 PC 上運行的實時 Windows 軟件包提供支持。直觀的圖形用戶界面允許快速輕松地進行測量。該程序是*全交互式的，使用戶可以*全控制圖形顯示。可拆分屏幕進行雙模式操作，刻度可設(shè)置為線性或?qū)?shù)格式，數(shù)據(jù)可手動或自動縮放。實時捕獲和顯示數(shù)據(jù)，或計劃在給定的時間間隔內(nèi)采集數(shù)據(jù)，以進行長期數(shù)據(jù)記錄。功能包括用戶可選擇的單位（Torr、mbar、Pa 和 A）、可編程的音頻和視覺警報以及全*的在線幫助。

該軟件還允許通過簡單的質(zhì)量標度調(diào)整、靈敏度校準、離子發(fā)生器設(shè)置和電子倍增器增益調(diào)整實現(xiàn)完整的 RGA 磁頭控制。為了進一步分析，可以將數(shù)據(jù)文件保存為 ASCII 格式，以便輕松傳輸?shù)诫娮颖砀裰小D形圖像可以保存為 META 文件或復(fù)制到剪貼板以直接導(dǎo)入其他 Windows 程序。該軟件還為鎖定頭部參數(shù)提供密碼保護，使臨時用戶無法更改重要設(shè)置。SRS 網(wǎng)站上還提供了 LabVIEW 驅(qū)動程序。

圖書館模式

可選的獨立監(jiān)視器 (PPM100) 可用于在沒有主機的情況下控制 RGA。

多頭操作

當需要多個 RGA 時，該軟件支持多頭操作。該軟件*多可監(jiān)控 8 個 ECU。

性能和價值

SRS 系列 RGA 非常適合涉及氣體分析、泄漏檢測和真空處理的應(yīng)用。我們提供 100、200 和 300 amu 系統(tǒng)，支持 Windows 軟件和選項，包括電子倍增器和用于交流線路操作的內(nèi)置電源模塊。

RGA 系列規(guī)格
操作
質(zhì)量范圍
RGA100	1 到 100 amu
RGA200	1 到 200 amu
RGA300	1 至 300 amu
質(zhì)量過濾器類型	四極桿
探測器類型	法拉第杯 - 標準。電子倍增器 - 選擇。
解析度	優(yōu)于 0.5 amu @ 10 % 峰高（根據(jù) AVS 標準 2.3）。在整個質(zhì)量范圍內(nèi)可調(diào)至恒定峰寬。
靈敏度 (A/Torr)	2 × 10 -4 (FC),<200 (EM)。用戶可在整個高壓范圍內(nèi)調(diào)節(jié)。用 N 2 @ 28 amu 測量，1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。
分鐘。可檢測分壓	5 × 10 -11 托 (FC)。 5 × 10 -14 托 (EM)。用 N 2 @ 28 amu 測量，1 amu 全峰寬、10 % 高度、70 eV 電子能量、12 eV 離子能量和 1 mA 電子發(fā)射電流。
運營壓力	10 -4 Torr 到 UHV (FC) 10 -6 Torr 到 UHV (EM)
*大限度。工作溫度	70℃
烘烤溫度	300 °C（不帶 ECU）
離子發(fā)生器
設(shè)計	開放式離子源，圓柱對稱，電子碰撞電離。
材料	SS304 結(jié)構(gòu)
燈絲	具有固件保護的釷銥（雙）。內(nèi)置1 至 10 W脫氣加速。現(xiàn)場可更換。
電子能量	25 至 105 V，可編程
離子能量	8 或 12 V，可編程
聚焦電壓	0 至 150 V，可編程
電子發(fā)射電流	0 至 3.5 mA，可編程
一般的
探頭尺寸	8.75" 從法蘭面到離子發(fā)生器頂部
探頭插入	2.0"
探頭安裝法蘭	2.75" CF
*小管內(nèi)徑	1.375"
ECU尺寸	9.1" × 4.1" × 3.1" (WHL) 可輕松與探頭分離以進行烘烤。
LED指示燈	電源開/關(guān)、燈絲開/關(guān)、脫氣開/關(guān)、電子倍增器開/關(guān)、RS-232 忙、錯誤、過壓、燈絲燒毀。
熱身時間	30 分鐘后質(zhì)量穩(wěn)定性 ±0.1 amu
電腦接口	RS-232C，28,800 波特，帶上等命令集
軟件	基于 Windows 的應(yīng)用程序
電力需求	24 VDC @ 2.5 安培。可選的內(nèi)置 VAC 適配器。
重量	6 磅 RGA 系列殘余氣體分析儀。

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